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丸善 Knowledge Worker紀伊國屋書店TSUTAYA


応用物理学選書8
マイクロ加工の物理と応用
The Physics and Technology of Microfabricatino

東洋大学教授 工博 吉田善一 著
A5判/246頁/定価4536円(本体4200円+税8%)/1998年3月
ISBN978-4-7853-2508-4 (旧ISBN4-7853-2508-9)

 マイクロテクノロジーは,マイクロ電子機械装置を実現するための技術であり,各種の基板製造,マイクロ加工,組立製造,評価・計測に関連する幅広い技術である.本書は,マイクロテクノロジーの中核であるマイクロ加工の原理から応用までを総合的に理解できるように,学部あるいは大学院の学生,初めてマイクロ加工に従事する研究者や技術者の入門書として書かれたものである.

 ※応用物理学選書」の一覧はこちら

【目 次】

『マイクロ加工の物理と応用』 カバー
1 マイクロ加工の意義
 1.1 マイクロ加工に求められるもの
 1.2 マイクロ加工の手段
 1.3 マイクロ加工の歴史

2 光・電子・イオン
 2.1 粒子の概念
 2.2 希薄気体の力学
 2.3 プラズマ
 参考書

3 粒子と固体との相互作用
 3.1 加工表面
 3.2 ガス‐固体表面相互作用
 3.3 電子‐固体相互作用
 3.4 イオン‐固体相互作用
 3.5 光子‐固体相互作用
 参考文献
 参考書

4 加工現象
 4.1 エネルギービームによる試料の温度上昇
 4.2 光子,電子,イオンによるレジスト露光
 4.3 プラズマシース
 4.4 化学・電界・破壊加工エネルギー
 4.5 シミュレーション
 参考文献
 参考書

5 加工装置
 5.1 電子・イオンビーム加工
 5.2 プラズマ加工
 5.3 フォトン加工
 5.4 プローブ加工
 参考文献
 参考書

6 マイクロマシニング
 6.1 マイクロ成形加工(LIGA)
 6.2 走査型プローブ顕微鏡によるナノ加工
 6.3 表面微細形状制御技術
 6.4 超微粒子生成技術
 6.5 表面活性化接合技術
 参考文献
 参考書

付 録



         

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