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新教科書シリーズ
表面分析入門
Introduction to Surface Analysis

元 物質・材料研究機構理事　工博　吉原一紘・
物質・材料研究機構主席研究員　工博　吉武道子 共著

Ａ５判／132頁／定価2420円（本体2200円＋税10％）／1997年9月25日発行
ISBN 978-4-7853-6102-0（旧ISBN 4-7853-6102-6）　 C3043
（オンデマンド方式による印刷・製本）

　代表的な表面分析法であるオージェ電子分光法とX線光電子分光法に関し、原理からデータの解釈法にいたるまでをやさしく解説したテキスト。
　高度な物理・化学の予備知識は必要なく、本書により、現在使用されている表面分析法についての基礎知識を得ることができる。

目次 （章タイトル）　　→ 詳細目次

1．はじめに
2．真空
3．固体中の電子の状態
4．電子の脱出過程
5．オージェ電子分光法
6．Ｘ線光電子分光法
7．深さ方向分析
8．励起線源の発生方法
9．電子分光器の原理
10．電子分光法による表面分析の応用
11．データ処理
12．定量法
13．正しいスペクトルを得るために
14．その他の表面組成分析法
15．おわりに

詳細目次　　

序文

1．はじめに

2．真空

3．固体中の電子の状態

4．電子の脱出過程
　4.1　電子の個体内での移動距離
　4.2　非弾性散乱平均自由行程と減衰長さの関係

5．オージェ電子分光法
　5.1　オージェ電子分光法の原理
　5.2　オージェ電子スペクトル
　5.3　オージェ電子の発生に寄与する物理定数
　5.4　オージェスペクトルの解釈

6．Ｘ線光電子分光法
　6.1　Ｘ線光電子分光法の原理
　6.2　光電子スペクトル
　6.3　光電子の発生に寄与する物理定数
　6.4　スペクトルの解釈
　6.5　紫外光電子分光法

7．深さ方向分析
　7.1　電子の脱出深さの角度依存性を利用する方法
　7.2　イオンスパッタリングを利用する方法
　7.3　界面に沿った線分析による方法

8．励起線源の発生方法
　8.1　電子線の発生方法
　8.2　Ｘ線の発生方法

9．電子分光器の原理
　9.1　簡単な電子の軌道計算
　9.2　分光器の概要

10．電子分光法による表面分析の応用
　10.1　正常な表面の観察
　10.2　角度分解XPSによる薄膜の分析
　10.3　元素分布測定
　10.4　界面位置の決定
　10.5　帯電とその補正

11．データ処理
　11.1　平滑化
　11.2　微分
　11.3　ピーク位置の決定
　11.4　バックグランド差し引き
　11.5　デコンボリューション
　11.6　ピークフィッティング
　11.7　スペクトル合成
　11.8　ファクターアナリシス

12．定量法
　12.1　相対感度法
　12.2　純物質を基準として用いる方法

13．正しいスペクトルを得るために
　13.1　エネルギー軸の校正
　13.2　強度軸の校正
　13.3　分解能の校正

14．その他の表面組成分析法

15．おわりに

参考書
索引

吉原 一紘
よしはら かずひろ
1966年 東京大学工学部卒業。東京大学大学院工学系研究科博士課程修了。東京大学助手、科学技術庁金属材料技術研究所研究員、同研究所極限場研究センター長、物質・材料研究機構ナノマテリアル研究所長・材料研究所長・理事などを歴任。主な著書に『入門表面分析』（内田老鶴圃）、『固体表面分析1，2』（共編、講談社）『ユーザーのための実用オージェ電子分光法』（共編、共立出版）などがある。

吉武 道子
よしたけ みちこ
1985年 お茶の水女子大学理学部卒業。東京大学大学院理学系研究科修士課程修了。科学技術庁金属材料技術研究所研究員などを経て現職。

（情報は初版刊行時のものから一部修正しています）