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実践SEMセミナー
−走査電子顕微鏡を使いこなす−
Practical SEM Seminar
−Mastering the Scanning Electron Microscope−

元 日本電子株式会社　博士（工学）　鈴木俊明・
東京電機大学教授　工学博士　本橋光也 共著

Ｂ５変形判／172頁／定価3300円（本体3000円＋税10％）／2022年11月25日発行
ISBN 978-4-7853-3526-7　 C3043

　SEM（走査電子顕微鏡）は多くの研究機関や企業、大学、工業高校などに導入されており、一通り操作手順を覚えれば、比較的簡単に画像を得ることができよう。しかし実際は、観察する材料の種類や状態によって撮影条件を細かく設定することが可能で、またそうしなければ本当に観察したい実像は得られないことも多いのである。
　本書は、SEMの開発にかかわり撮影指導をしてきた著者が、数多の失敗も含めた長年の蓄積を元に、どうすれば目的に適う画像が得られるのか、そのコツを豊富な具体例とともに伝授する画期的な書籍である。鉱物から金属材料、生体材料まで、SEMを使い始めた人や、ある程度慣れてはきたがいま一つ自信が持てない人、指導する立場でより確かなノウハウを身につけたい人も、本書を手にワンランク上のSEMユーザーを目指そう！

サポート情報

◎ はじめに　 ◎ おわりに　 ◎ 索引 （以上pdfファイル）
◎ 正誤表 （pdfファイル）

目次 （章タイトル）　　→ 詳細目次

1．SEMってどんな装置？
2．SEMの構成と操作のポイント
3．元素分析の基本とポイント
4．試料作製の基本とポイント
5．もっとSEMを使いこなすために

詳細目次　　→

はじめに （pdfファイル）

1．SEMってどんな装置？
　1.1　SEMとは？
　1.2　SEM「あるある」劇場
　　1.2.1　絶縁物はコーティングしなくてもＯＫ？
　　1.2.2　同じ場所を観察しているのに？
　コラム1　SEMの都市伝説

2．SEMの構成と操作のポイント
　2.1　SEMのしくみ
　　2.1.1　電子銃
　　2.1.2　加速電圧
　　2.1.3　電子レンズ
　　2.1.4　対物絞りとその役割
　　2.1.5　走査コイルと倍率
　　2.1.6　非点収差と非点(収差)補正
　　2.1.7　各種検出器
　　2.1.8　ステージ
　　2.1.9　真空排気系
　2.2　電子線照射で起こる現象とSEM像
　2.3　コンデンサーレンズとSEM像の画質
　2.4　検出器の構造と各種信号の応用
　　2.4.1　二次電子の性質と二次電子検出器
　　2.4.2　反射電子の性質と反射電子検出器
　2.5　加速電圧を使いこなす
　　2.5.1　加速電圧変化がSEM像に与える影響
　　2.5.2　入射電子の進入深さ測定用試料の作製
　　2.5.3　入射電子の試料内への進入深さの見積もり
　　2.5.4　加速電圧を変えて観察することのメリット
　2.6　外部環境の変化による像の乱れ
　2.7　ステージの傾斜および回転
　　2.7.1　ワーキングディスタンス
　2章付録
　　1．仮想光源
　　2．プローブ径
　　3．反射電子凹凸像の解釈
　　4．FIB-SEM
　　5．焦点深度
　　6．最新のSEM
　引用文献
　参考文献
　コラム2　卓上SEM、汎用SEM、ハイエンドSEM

3．元素分析の基本とポイント
　3.1　Ｘ線発生のメカニズムと元素分析の基礎
　　3.1.1　Ｘ線発生のメカニズム
　3.2　SEMに付属する元素分析装置
　　3.2.1　EDS検出器について
　　3.2.2　EDS測定の各種パラメータの設定
　3.3　元素分析のポイント
　　3.3.1　特性Ｘ線ピークの重なり
　　3.3.2　分析時の加速電圧設定と分析領域の広がりとの関係
　　3.3.3　分析領域の広がりを推測する
　　3.3.4　分析領域の広がりを考慮した鉱物(銅鉱)試料の分析例
　3章付録
　　1．蛍光収率
　　2．イオン化断面積
　　3．WDS
　引用文献
　参考文献
　コラム3　「星の砂」、「太陽の砂」

4．試料作製の基本とポイント
　4.1　なぜ、試料作製が必要か？
　4.2　正しい試料の固定法
　4.3　チャージアップ現象の発生原理と防止法
　　4.3.1　絶縁物の観察法
　　4.3.2　チャージアップの勘違い −理解しているつもりが本当は理解してない場合−
　4.4　導電性コーティング法 −何をどこまでコーティングすればよいのか−
　　4.4.1　コーティング材料
　　4.4.2　コーティング装置
　4.5　効率よくコーティングするための試料固定法
　　4.5.1　チャージアップさせないための試料固定法およびコーティング法
　　4.5.2　カーボンペーストを使用したときの落とし穴
　　4.5.3　チャージアップする試料の取り扱い
　　4.5.4　スキャンスピードとチャージアップの関係
　　4.5.5　究極のチャージアップ回避法
　4.6　そうは言っても、コーティングしたくない！
　4.7　低真空SEM、Cryo-SEMの活用
　　4.7.1　低真空SEM
　　4.7.2　Cryo-SEM
　　4.7.3　通常のSEMでのバイオ系試料の可能性
　4.8　断面試料作製法
　　4.8.1　断面試料作製装置として、手っ取り早くカミソリを使う
　　4.8.2　硬くて脆い試料の断面加工
　　4.8.3　機械研磨と化学エッチング
　　4.8.4　イオンビーム加工
　　4.8.5　断面試料作製法のまとめと付記事項
　4.9　試料取り扱い上の注意
　　4.9.1　熱ダメージの防止
　　4.9.2　コンタミネーションの付着に注意
　　4.9.3　試料を直接手で触ると…
　　4.9.4　試料へのマーキング
　　4.9.5　試料の保管、搬送方法
　4章付録
　　1．両刃、片刃カミソリについて
　参考文献
　コラム4　メゾスコピックって知っていますか？
　コラム5　観るということ、意味のある無駄のない観察

5．もっとSEMを使いこなすために
　5.1　SEM「あるある」劇場の反省会
　　5.1.1　セラミックスのコーティング
　　5.1.2　塗装膜の表面評価
　5.2　あるあるを乗り越えて
　5.3　再スタートの前にもう一言
　引用文献
　参考文献
　コラム6　何でも観ておくことの大切さ
　コラム7　「食卓の主役、脇役、困り者」

おわりに（pdfファイル）
索引 （pdfファイル）

鈴木 俊明
すずき としあき
1957年 神奈川県に生まれる。東京電機大学工学部卒業。日本電子株式会社入社、東京電機大学大学院修士課程修了。日本電子株式会社 SM事業ユニット・EP事業ユニットなどを経て現在 東京電機大学研究員・非常勤講師。

本橋 光也
もとはし みつや
1961年 埼玉県に生まれる。東京電機大学工学部卒業、東京電機大学大学院工学研究科博士後期課程修了。東京電機大学助手・講師・教授などを経て現職。専門分野は半導体工学、無機材料など。

（情報は初版刊行時のものから一部修正しています）

実戦ナノテクノロジー
走査プローブ顕微鏡と
局所分光